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*美艾博格Aalborg質(zhì)量流量計(jì)

更新時(shí)間:2024-09-12

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美艾博格Aalborg質(zhì)量流量計(jì)

 

    美Aalborg是公司成立于1972年,是世界上較有名的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)廠家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等域。產(chǎn)品特點(diǎn):性?xún)r(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝 。設(shè)計(jì)特點(diǎn):-剛性屬結(jié)構(gòu) -流程范圍從0開(kāi)始到10sccm直到0到1000slpm -大壓力500psig(34.5Bar) -泄漏率1*10-7氦氣 -NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明 -可傾斜的LCD讀表 -0-5Vdc或4-20m*美艾博格Aalborg質(zhì)量流量計(jì)

A信號(hào)輸出 -電路保護(hù) -可用作便攜式的設(shè)備 -0到100%比例顯示 -可

配備流量計(jì)算機(jī) 精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(1

5℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力??蛇x±1%滿量程(

標(biāo)定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。 重復(fù)性:±0.5%滿量

程 回應(yīng)時(shí)間:實(shí)際流速±2%超過(guò)滿量程25-100%一般2秒 溫度系數(shù):

0.15%滿量程/℃ 壓力系數(shù):0.01%滿量程/psi(0.07bar) 氣體

/周?chē)鷾囟龋?2℉-122℉(5℃-50℃) 輸出信號(hào):0-5Vdc,小

1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻 傳感器輸出:+12Vdc;

大200Ω。 

 

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